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1.物料的種類和大小
      由于物料種類和狀態千差萬別，微波真空干燥工藝并非固定不變。事實上，在微波真空干燥過程中，物料內部逐漸形成疏松多孔狀，其內部的導熱性開始減弱，即物料逐漸變成不良的熱導體。隨著微波真空干燥過程的進行，內部溫度會高于外部，物料體積愈大，其內外溫度梯度就愈大，內部的熱傳導不能平衡微波所產生的溫差，使溫度梯度達到不能接受的水平。因此，一般應預先把物料處理到較小的粒狀或片狀以改進干燥的效果。粉末狀產品在微波干燥時具有其*性。當它們被堆積在一起時不應看成是許多小顆粒，而是一個整體，需要特別注意料層的內外溫差。一般當物料以較大的形式出現時，需在物料接近減速干燥期時，降低微波功率，從而有效減少其內外溫差，但反效果是延長了干燥時間。
2.真空度
     壓力越低，水的沸點溫度越低，物料中水分散開速度加快。微波真空諧振腔內真空度的大小主要受限于擊穿電場強度，因為在真空狀態下，氣體分子易被電場電離，而且空氣、水汽的擊穿場強隨壓力而降低；電磁波頻率越低，氣體擊穿場強越小。氣體擊穿現象zui容易發生在微波饋能耦合口以及腔體內場強集中的地方。擊穿放電的發生不僅會消耗微波能，而且會損壞部件并產生較大的微波反射，縮短磁控管使用壽命。如果擊穿放電發生在食品表面，則會使食品焦糊，一般20kV/m的場強就可擊穿食品(介電常數不同)。所以正確選擇真空度大小非常重要，真空度并非越高越好，過高的真空度不僅能耗增大，而且擊穿放電的可能性增大。
3.微波功率
     微波有對物質選擇性加熱的特性。水是分子極性非常強的物質，較易受到微波作用而發熱，因此含水量愈高的物質，愈容易吸收微波，發熱也愈快；當水分含量降低，其吸收微波的能力也相應降低。一般在干燥前期，物料中水分含量較高，輸入的微波功率可圖1 微波功率對干燥效果的影響高些，可采用連續微波加熱，這時大部分微波能被水吸收，水分迅速遷移和蒸發；在等速和減速干燥期間，隨著水分的減少，需要的微波能也少，可采用脈沖間隙式微波加熱。